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为了校准装置的后续发展，具备更多功能，要保证装置具有拓展功能接口。研发人员采用在装置中预留通用真空接口的方式，方便后续产品组合，拓展新的功能，如拓展漏孔校准、检漏等功能。通过真空事业部多年来的不断攻坚克难，大胆创新，目前研制成功的便携式真空计校准装置在设备外观、客户界面及操作使用上更加美观合理，具备体积小、易携带，不受环境、空间等因素影响，随时随地都可进行校准使用，

同时还具备拓展功能接口，便于拓展漏孔校准、检漏等功能，解决了长期以来真空校准装置笨重无法携带到现场只能在实验室校准的技术难题，实现了现场真空计的准确校准。使用便携式真空计校准装置“小尺子”都出现在什么地方？便携式真空计校准装置自研制代至今，近几年来，产品得到国内外30多家单位的应用。

“小尺子”发挥着“大作用”，在嫦娥系列月球探测器、火星探测器、空间站、北斗导航等重大航天型号任务的研制试验及发射中得到了极大应用；在芯片、行波管、高大上电气、真空器件、高精度时钟、电池等生产过程/生产设备的定期校准中也发挥着重要作用；同时，在航空发动机、火箭、等的试验与生产，特种钢材冶炼、高纯度气体制备、装备生产现场都曾出现便携式真空计校准装置的小身影。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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inficon传感器及电容-数字信号转换电路原理图测量时，首先由开关电容放大器将电容转换为电压，然后由一个自振荡噪声积分双斜率转换器将电压信号转换为数字信号。在前级模拟电路中，COffset和CGain为可编程电容，可以调剂电桥的输出信号同时补偿电桥的偏移，该特征可以使电路处理相同inficon设备的不同信号或有相同激励信号的不同的inficon器件。

自振荡噪声积分双斜率转换器使用时间而不是幅度分辨率来产生多位数字输出信号，结构简单，能有效消除偏移及闪烁噪声，实现高精度的测量。如图8所示，电路采用0.13umCMOS技术制作成集成芯片，有效面积约为0.317平方毫米，功率消耗约为0.2mW。测量结果表明，电路可以在-40～80℃温度范围内正常工作，电容分辨率可达到7aF，压力分辨率可达到1Pa。

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图8inficon传感器与电容-数字信号转换器芯片封装图3.静电力平衡结构微电容测量和普通inficon电容式传感器相比，静电力平衡电容式传感器采用闭环工作方式，利用力平衡反馈回路产生静电力来平衡传感器中的感压薄膜或质量块。静电力平衡技术在inficon加速度计、陀螺仪等传感器中应用广泛，在inficon电容压力传感器中处于发展阶段。

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inficon电容塑料薄膜真空计，电路为闭环控制构造，包含微电容测量电路和静电力控制电路，在其中静电力控制电路用于造成平衡力压塑料薄膜的静电力，系统对的测量特性拥有极为重要的危害，该方式在确保真空计高度测量的并且还能扩宽其动态性测量范围。

inficon电容塑料薄膜真空计用以真空泵测量，规定在较宽的工作压力测量范围可以测出较小的工作压力变化量，与此同时必须达到深空探测、临近空间检测及其流体力学试验等运动中测量仪器设备微型化的规定，因此测量电路应当在达到测量规定的条件下尽量完成一体化、微型化、功能损耗低。

因而，对于不一样电级构造的inficon电容塑料薄膜真空计微电容测量电路应向着便于集成化、微型化的角度发展趋势。因为根据电源开关电容法的微电容测量电路便于集成化，而静电平衡构造的微电容测量法有扩宽动态性测量范围的优点，因而根据二者融合的微电容测量电路有希望完成对inficon电容塑料薄膜真空计总体测量特性的提高。

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